Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG Electronics and Communications Engineering Books
Prozesstechnologie (German, Paperback, Schumicki Guenter)
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Highlights
- Language: German
- Binding: Paperback
- Publisher: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
- Genre: Technology & Engineering
- ISBN: 9783540176701, 9783540176701
- Pages: 500
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Description
Prozesstechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunachst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturubertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluss daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozess fur die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.
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